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名称 |
规格型号 |
单位 |
数量 |
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不锈钢腔室 |
非标定制：Φ650×H600mm，双层水冷 |
套 |
1 |
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石英观察窗 |
JS100：直径100，带挡板 |
套 |
2 |
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屏蔽罩 |
非标定制：Φ640×H580mm，不锈钢 防污罩 |
套 |
1 |
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工件台 |
非标定制：6工位 公/自转结构 |
套 |
1 |
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调速电机 |
JYCC-120W |
套 |
1 |
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磁流体密封 |
D16,水冷 |
套 |
1 |
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温控组件 |
宇电516P.PID智能温控系统 |
套 |
1 |
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基片测温 |
K型热电偶，长0.5米 |
套 |
1 |
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绝缘组件 |
DN400,耐 1000V ，材质聚四氟乙烯+陶瓷 |
套 |
1 |
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主机架 |
非标定制：800×1200×800mm。配拉丝面板、脚轮、定位 |
台 |
1 |
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电控柜 |
JS40U 600×680×H1800mm |
面 |
2 |
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标准件及配件 |
螺钉、无氧铜密封圈、氟橡胶密封圈、卡箍、盲板等 |
批 |
1 |